舆论纲要：微尺寸单晶硅涡轮强度数值本领接洽

以MEMS (Micro Electro Mechanical System) 本领为普通的微遨游器是暂时宇航航天范围最具吸吸力的产物之一，而能源安装的微型化题目则是本能更强更精巧的新式微遨游器的要害本领。微型涡轮发效果是一种高能量密度的能源安装，动作微型遨游器的要害本领之一在国表里都获得了普遍的关心和大举的兴盛。对于微型发效果关系本领和题目的接洽具备要害的意旨和工程价格。正文重要引见了国表里微型发效果的兴盛情景，领会了微型涡轮发效果的处事道理，阐明了其处事进程和热轮回形式，经过比拟微型发效果与保守发效果的处事进程，对准微型发效果的特性和本领难点，归纳了微型涡轮发效果构造简化本领，实行了某型微型涡轮发效果的构造安排，并对其轴承特性举行了领会。对微尺寸单晶硅涡轮强度举行了计划。经过有限元本领对涡轮盘建立模型领会，获得感化轮盘变形的特性参数，同声对特性尺寸与最大应力之间的联系举行计划，得出在微加工前提下保护强度本能的微型发效果安排思绪。经过将微型发效果的外表特性形貌简化建立模型，对各别外表精细度下的应力场举行领会，获得各别外表精细度Rz时的外表应力会合系数，沿用回归本领创造外表应力会合系数与微破口重心间距、外表精细度之间的体味公式。